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HOME > 製品案内 > スーパーエアヒーター > デジタルフローコントローラー(温度調整・流量計)DFC-10
スーパーエアヒーター デジタルコントローラー(温度調節・流量計) DFC-10
  • 特長
  • 用途
  • 仕様

各部の名称

パネル図
パネル説明
1 流量設定および表示部 9 3)センサー(熱電対)入力端子 (+)
2 温度設定および表示部 4)センサー(熱電対)入力端子 (-)
3 流量調節器電源スイッチ 5)イベント出力端子 (COM)
4 温度調節器電源スイッチ 6)イベント出力端子 (EV1)
5 ヒューズ 7)イベント出力端子 (EV2)
6 流体出口 (φ6配管用) 8)外部入力端子 (RSW1)
7 流体入口 (φ6配管用) 9)外部入力端子 (COM) (流量計と共用)
8 電源入力端子 10 流量調節器用接続端子
9 温度調節器用接続端子 10)イベント出力端子 (EV1)
1)ヒーター出力端子 11)外部入力端子 (RSW1)
2)ヒーター出力端子 12)外部入力端子 (RSW2)

製品仕様

製品仕様表
電源電圧 AC100V 50/60Hz AC200V 50/60Hz
使用ヒーター SEN , MAX
温度範囲 0〜800℃
制御方法 温調器:PID , 流量計:比例ソレノイドバルブ
精度 温調器:±0.5%FS , 流量計:±0.2%FS
イベント出力 温調器:イベント出力点数 2点 , 流量計:イベント出力点数 1点
出力定格 温調器:AC250V 3A , DC30V 1A , 流量計:DC30V 15mA
外部入力 温調器:外部入力点数 1点 , 流量計:外部入力点数 2点
入力形式 温調器・流量計:無電圧接点またはオープンコレクタ
ガス種類 空気/窒素 ※注1
制御範囲 1〜20 L/min
耐圧 0.5 Mpa
標準差圧 0.2 Mpa
動作差圧範囲 0.05 Mpa 〜 0.3 Mpa
寸法 W161×H119(ゴム足含む)×D200(端子台含まず)
質量 約 2.5kg

※仕様は改良のため予告なく変更することがあります。

注1:腐食成分(塩素、硫黄、酸)を含まない乾燥気体であること。ダスト及びオイルミストを含まい清浄気体であること。

注2:異物が流入する可能性がある場合には、フィルター等を設けて下さい。