各部の名称

1	流量設定および表示部	9	3）センサー（熱電対）入力端子 (+)
2	温度設定および表示部		4）センサー（熱電対）入力端子 (-)
3	流量調節器電源スイッチ		5）イベント出力端子 (COM)
4	温度調節器電源スイッチ		6）イベント出力端子 (EV1)
5	ヒューズ		7）イベント出力端子 (EV2)
6	流体出口 (φ6配管用)		8）外部入力端子 (RSW1)
7	流体入口 (φ6配管用)		9）外部入力端子 (COM) (流量計と共用)
8	電源入力端子	10	流量調節器用接続端子
9	温度調節器用接続端子		10）イベント出力端子 (EV1)
	1）ヒーター出力端子		11）外部入力端子 (RSW1)
	2）ヒーター出力端子		12）外部入力端子 (RSW2)

製品仕様

　

電源電圧	AC100V 50／60Hz	AC200V 50／60Hz
最大負荷電流	10A
使用ヒーター	SEN , MAX
温度範囲	0〜800℃
制御方法	温調器：PID　,　流量計：比例ソレノイドバルブ
精度	温調器：±0.5％FS　,　流量計：±2％FS
イベント出力	温調器：イベント出力点数 2点　,　流量計：イベント出力点数 1点
接点定格	温調器：AC250V/DC30V 2A（抵抗負荷）,　流量計：DC30V 15mA
外部入力	温調器：外部入力点数 1点　,　流量計：外部入力点数 2点
入力形式	温調器・流量計：無電圧接点またはオープンコレクタ
ガス種類	空気／窒素　※注1
制御範囲	1〜20 L/min
耐圧	0.5 MPa
標準差圧	0.2 MPa
動作差圧範囲	0.05 MPa 〜 0.3 MPa
寸法	W161×H119（ゴム足含む)×D200(端子台含まず)
質量	約 2.5kg

※仕様は改良のため予告なく変更することがあります。

注1：腐食成分（塩素、硫黄、酸）を含まない乾燥気体であること。ダスト及びオイルミストを含まい清浄気体であること。

注2：異物が流入する可能性がある場合には、フィルター等を設けて下さい。