スーパーエアヒーターデジタルフローコントローラー（温度調整・流量計）DFC-100L
各部の名称
| 1 | 流量設定および表示部 | 9 | 4）センサー（熱電対）入力端子 (-) |
|---|---|---|---|
| 2 | 温度設定および表示部 | 5）イベント出力端子 (COM) | |
| 3 | 流量調節器電源スイッチ | 6）イベント出力端子 (EV1) | |
| 4 | 温度調節器電源スイッチ | 7）イベント出力端子 (EV2) | |
| 5 | ヒューズ | 8）外部入力端子 (RSW1) | |
| 6 | 流体出口 (φ8配管用) | 9）外部入力端子 (COM) | |
| 7 | 流体入口 (φ8配管用) | 10 | 流量調節器用接続端子 |
| 8 | 電源入力端子 | 10）アラーム出力端子 (COM) | |
| 9 | 温度調節器用接続端子 | 11）アラーム出力端子 (EV1) | |
| 1）ヒーター出力端子 | 12）外部入力端子 (RSW1) | ||
| 2）ヒーター出力端子 | 13）外部入力端子 (RSW2) | ||
| 3）センサー（熱電対）入力端子 (+) | 14）外部入力端子 (COM) |
製品仕様
| 電源電圧 | AC100V 50／60Hz | AC200V 50／60Hz |
|---|---|---|
| 最大負荷電流 | 10A | |
| 使用ヒーター | SEN | |
| 温度範囲 | 0〜800℃ | |
| 制御方法 | 温調器：PID , 流量計：比例ソレノイドバルブ | |
| 精度 | 温調器：±0.5％FS , 流量計：±3％FS | |
| イベント出力 | 温調器：イベント出力点数 2点 , 流量計：アラーム出力点数 1点 | |
| 接点定格 | 温調器：AC250V/DC30V 2A（抵抗負荷）, 流量計：AC/DC48V 500ｍA | |
| 外部入力 | 温調器：外部入力点数 1点 , 流量計：外部入力点数 2点 | |
| 入力形式 | 温調器・流量計：無電圧接点またはオープンコレクタ | |
| ガス種類 | 空気／窒素 ※注1 | |
| 制御範囲 | 10～95 L/min | |
| 耐圧 | 0.49 MPa | |
| 標準差圧 | 0.3 MPa | |
| 動作差圧範囲 | 0.25 MPa 〜 0.35 MPa | |
| 寸法 | W141×H170（ゴム足含む)×D216(端子台含まず) | |
| 質量 | 約 3kg | |
※仕様は改良のため予告なく変更することがあります。
注1：腐食成分（塩素、硫黄、酸）を含まない乾燥気体であること。ダスト及びオイルミストを含まない清浄気体であること。
注2：異物が流入する可能性がある場合には、フィルター等を設けて下さい。
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